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測(cè)量2
反射型激光移位計(jì) + X-Y載物臺(tái)
通過(guò)組合使用1D激光移位計(jì)與X-Y載物臺(tái),可進(jìn)行高精度的3D形狀測(cè)量。
要點(diǎn)
通過(guò)區(qū)分使用傳感頭,可測(cè)量各種高度的形狀。
還可測(cè)量透明體的3D形狀。
LK-G系列
三角測(cè)量方式
超高度392 kHz采樣
可連接12臺(tái)傳感頭
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SI系列
分光干涉方式
超分辨率1 nm
配備φ2 mm微型傳感頭
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tcm:115-1582376-64