產(chǎn)品規(guī)格 干涉式同軸 3D 位移測(cè)量?jī)x WI-5000 系列

型號(hào)

WI-001*1*2*3

WI-004*1*2*3

WI-010*1*2*3

圖像

參考距離

18 mm

測(cè)量范圍

Z

1.4 mm(標(biāo)準(zhǔn)模式),0.7 mm(高速模式)

XY

1 × 1 mm

4 × 4 mm

10 × 10 mm

最小檢測(cè)區(qū)域

4 × 4 μm

15 × 15 μm

40 × 40 μm

重復(fù)精度(段差)

0.1 μm*4

直線性(段差)

±2.8 μm(±0.2% of F.S.,F(xiàn).S.=1.4 mm,+20 至+30℃)*5

測(cè)量用光源

類型

紅外線SLD

中心波長(zhǎng)

830 nm

激光分類(IEC60825-1, GB7247.1)

3R 類

輸出

3.6 mW

引導(dǎo)用光源

類型

紅色半導(dǎo)體激光

波長(zhǎng)

660 nm

激光分類(IEC60825-1, GB7247.1)

1 類

輸出

0.15 mW

采樣周期

內(nèi)部觸發(fā)

133 ms(高速模式),266 ms(標(biāo)準(zhǔn)模式)

外部觸發(fā)

最快 266 ms(高速模式),最快 532 ms(標(biāo)準(zhǔn)模式)*6

環(huán)境抗耐性

環(huán)境光照

白熾燈/熒光燈:5,000 lux 以下

環(huán)境溫度

0 至 +35 °C

相對(duì)濕度

20 至 85 % RH (無(wú)凝結(jié))

重量

約 3000 g

*1 FDA (CDRH) 的激光分類是基于 IEC60825-1 并根據(jù) Laser Notice 的要求而實(shí)施的。高度(從測(cè)量頭的基準(zhǔn)面到測(cè)量工件的距離)的分辨率為 1μm(*2)。
*2 使用基恩士標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)物,并測(cè)量單一矩形區(qū)域(*3)的平均高度 30 秒時(shí)的±3σ 值(自動(dòng)修復(fù)OFF 時(shí))。
*3 矩形的尺寸為WI-001:0.3 × 0.9 mm,WI-004:1.1 × 3.7 mm,WI-010:3 × 9 mm。
*4 使用基恩士標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)物,并測(cè)量 2 個(gè)矩形區(qū)域(*3)的平均段差 30 秒時(shí)的σ 值(自動(dòng)修復(fù)OFF 時(shí),且拍攝時(shí)間為精確度優(yōu)先時(shí))。
*5 使用基恩士標(biāo)準(zhǔn)目標(biāo)物,并測(cè)量 2 個(gè)矩形區(qū)域(*3)的平均段差時(shí)的值(自動(dòng)修復(fù)OFF 時(shí),且拍攝時(shí)間為精確度優(yōu)先時(shí))。
*6 拍攝時(shí)的工件停止時(shí)間為高速模式 120 ms,標(biāo)準(zhǔn)模式 240 ms。

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型號(hào)

WI-5000

圖像

測(cè)量頭連接臺(tái)數(shù)

1 臺(tái)

設(shè)定注冊(cè)數(shù)

SD 卡 1、SD 卡 2 分別可保存 1000 個(gè)(取決于 SD 卡容量及設(shè)定內(nèi)容),可進(jìn)行外部切換

測(cè)量工具數(shù)

100 個(gè)/ 設(shè)定(其中20 個(gè)為位置偏移補(bǔ)正用)

測(cè)量模式

高度

高度測(cè)量、段差測(cè)量、多點(diǎn)高度測(cè)量(固定配置)、多點(diǎn)高度測(cè)量(自由配置)、輪廓測(cè)量、連續(xù)高度測(cè)量

圖像尺寸測(cè)量

距離測(cè)量、寬度測(cè)量、直線檢測(cè)、角度測(cè)量、圓檢測(cè)、點(diǎn)檢測(cè)

輔助功能

數(shù)值計(jì)算、圖像范圍生成、直線顯示、圓顯示、點(diǎn)顯示、刻度線顯示

接口

控制輸入

20 點(diǎn)(輸入端子臺(tái)5 點(diǎn),并聯(lián) I/O15 點(diǎn))

控制輸出

?28 點(diǎn)(輸出端子臺(tái) 6 點(diǎn),并聯(lián)I/O 22 點(diǎn))
?光MOSFET*1

RS-232C

數(shù)值輸出及控制輸入輸出(無(wú)法與使用 RS-232C 端口的 PLC 鏈接同時(shí)使用)

PLC 鏈接

使用 Ethernet 端口或 RS-232C 端口進(jìn)行數(shù)值輸出及控制輸入輸出(無(wú)法與 EtherNet/IP? 同時(shí)使用。使用 RS-232C 端口時(shí),無(wú)法與 RS-232C 無(wú)協(xié)議通信同時(shí)使用)

Ethernet

?數(shù)值輸出及控制輸入輸出
?與基恩士生產(chǎn)的PC 應(yīng)用軟件連接后,除了上述功能以外,還能進(jìn)行包含檢測(cè)設(shè)定的上傳、下載、各種模擬、圖像數(shù)據(jù)在內(nèi)的各種數(shù)據(jù)的收發(fā)、程連接
?支持FTP 客戶端、服務(wù)器功能,支持VNC 服務(wù)器功能(計(jì)算機(jī)以外的客戶端僅支持顯示器畫(huà)面顯示)、BOOTP 功能
?1000BASE-T/100BASE-TX/10BASE-T

USB

?與基恩士生產(chǎn)的PC 應(yīng)用軟件連接后,除了數(shù)值輸出、控制輸入輸出以外,還能進(jìn)行包含檢測(cè)設(shè)定的上傳、下載、各種模擬、圖像數(shù)據(jù)在內(nèi)的各種數(shù)據(jù)的收發(fā)、遠(yuǎn)程連接
?USB2.0 專用

EtherNet/IP?

?使用Ethernet 端口進(jìn)行數(shù)值輸入輸出及控制輸入輸出(無(wú)法與PLC 鏈接同時(shí)使用)
?支持循環(huán)通信(最大 1436 byte)、支持信息通信
?最大連接數(shù) 32
?遵循一致性測(cè)試 CT12 版

鼠標(biāo)

可使用選配件的專用鼠標(biāo)(8與控制器包裝在一起)進(jìn)行各種菜單操作

USB HDD

通過(guò)將專用的USB 端口(符合USB3.0,支持總線電源:額定輸出 900 mA)連接到HDD(最大 2 TB),可輸出包含圖像數(shù)據(jù)在內(nèi)的各種數(shù)據(jù)

顯示器輸出

模擬 RGB 輸出 XGA 1024 × 768(24 bit 彩色,60 Hz)

最小顯示單位

0.1 μm、0.001°、0.0001 mm2、0.00001 mm3

顯示語(yǔ)言

簡(jiǎn)體中文/ 繁體中文/ 日文/ 英文/ 韓文 切換(初次啟動(dòng)時(shí)決定初始語(yǔ)言)

額定

最大消耗電流

2.7 A

電源電壓

24 VDC ±10 %

環(huán)境抗耐性

環(huán)境溫度

0 至 +45 °C (DIN 導(dǎo)軌安裝)、0 至 +40 °C (底面安裝)

相對(duì)濕度

35 至 85 % RH (無(wú)凝結(jié))

重量

約 2,000 g

*1 支持NPN 輸入設(shè)備的+ 共用連接、支持PNP 輸入設(shè)備的- 共用連接均可。

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型號(hào)

WI-S1

圖像

XY 載物臺(tái)移動(dòng)量

X 軸:75 mm,Y 軸:50 mm

XY 載物臺(tái)傾斜角度

±2 度

Z 軸載物臺(tái)移動(dòng)量

粗調(diào)節(jié)輪:64 mm,微調(diào)節(jié)輪:2.0 mm

外形尺寸(可動(dòng)部位除外)

寬度 231 × 高度 408 × 深度 360 mm

重量

約 10 kg

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型號(hào)

WI-C3

WI-C5

WI-C10

WI-C3L

WI-C5L

WI-C10L

WI-C3R

WI-C5R

WI-C10R

圖像

類型

測(cè)量頭連接電纜 標(biāo)準(zhǔn)

測(cè)量頭連接電纜 高柔性

末端形狀

直型

L 型

直型

長(zhǎng)度

3 m

5 m

10 m

3 m

5 m

10 m

3 m

5 m

10 m

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